主流校正體系分為三條技術(shù)路線。第一是經(jīng)驗系數(shù)法，通過CQ、DJ、RH、LP、PH五大數(shù)學(xué)模型，以大量標(biāo)準(zhǔn)樣品回歸出元素間的吸收-增強校正系數(shù)。其中CQ模式以濃度為基礎(chǔ)，適合增強效應(yīng)主導(dǎo)的試樣；DJ模式以吸收效應(yīng)為主，擬合更穩(wěn)健；RH模式兼顧兩者，適用面廣。該法精度高但依賴標(biāo)樣數(shù)量，移植性差。第二是基本參數(shù)法（FP法），由Criss等于1968年提出，以初級X射線光譜分布、質(zhì)量衰減系數(shù)、熒光產(chǎn)額、吸收陡變比等物理參數(shù)構(gòu)建理論方程，通過迭代逼近使理論強度與實測強度一致。優(yōu)勢在于無需大量標(biāo)樣，但對輕元素（Mg、Al、Si、P、S）的校正仍存局限。第三是內(nèi)標(biāo)法與散射標(biāo)準(zhǔn)法，以內(nèi)標(biāo)線或散射X射線為參照，有效補償基體吸收與儀器漂移，但需嚴(yán)格匹配內(nèi)標(biāo)元素的激發(fā)-吸收特性。

　　當(dāng)前行業(yè)優(yōu)解是FP法與經(jīng)驗系數(shù)法的融合，疊加智能算法自動補償。奧林巴斯Axon技術(shù)、日立自動漂移校正算法均屬此類，可在無標(biāo)準(zhǔn)片條件下連續(xù)工作數(shù)十天，輕元素定量精度提升至±0.05%級別。配合SDD探測器（分辨率約145eV）的高分辨峰識別能力，有效分離重疊峰與干擾峰，最終實現(xiàn)Mg至U全譜段、ppm級檢出限的可靠定量。